薄膜節流器之薄膜參數探討

Study on Membrane Parameters of Membrane-type Restrictors

劉彥呈(Yan-Chen Liu)

指導教授 ： 康淵 ； 張永鵬

中原大學/工學院/機械工程研究所/碩士(2012年)

https://doi.org/10.6840/cycu201201059

摘要

本文研究封閉式圓形靜壓平面之承使用的薄膜式節流器。目的為了探討薄膜節流器，在不同的薄膜厚度、薄膜剛度、油膜間隙及節流係數等參數，並且工作台施以步階力、簡諧力之激振力，根據分析結果加以比較各參數的影響以及工作台之反應特性。
本文應用雷諾方程式所推導壓力分佈式，及假設油膜厚度建立流量方程式，求解流量平衡式，將其聯立求解後，得到工作台及節流器的壓力，將求出的壓力無因次化後代入作用力方程式，分別得到工作台及節流器作用力，再將其分別代入工作台與節流器無因次動態方程式，並且聯立求解，得到閉式圓形工作台之動態方反應。

關鍵字

油膜間隙 ； 薄膜剛度 ； 薄膜厚度 ； 薄膜節流器

並列摘要

This studies the dynamic characteristics in table mounted on close-type hydrostatic plain bearing with single-chamber of membrane type restrictions. With various supply pressure, various membrane stiffness, and restrictor parameter, worktable under step force and harmonic force are analyzed.
On the basis of Reynolds equation the pressure distribution are formulated for the continuity equations for lubricant flow, solve these couple equations, which are solved for dimensionless recess region pressures on worktable and restrictors. The solutions of these coupled equations provide the static and dynamic amplitudes of worktable.

並列關鍵字

membrane stiffness ； membrane-type restrictor ； membrane thickness ； membrane clearance.

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