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期刊
CMOS-MEMS微型熱電式發電器
蔡文榮
;
彭世瑋
;
戴慶良
《微系統暨奈米科技協會會刊》
25期
(2011/06)
Pp. 16-21
https://doi.org/10.30051/WXTJNMKJXHHK.201106.0004
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延伸閱讀
吳宗翰(2005)。
CMOS MEMS壓電噴墨頭製程及設計
〔碩士論文,國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0006-1808200520370800
林耕舜(2006)。
CMOS熱電式紅外線微感測器之設計、製造與系統整合
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-1303200709324632
蔡旻輯(2013)。
利用CMOS-MEMS製程設計之微波關鍵電路
〔碩士論文,國立中正大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0033-2110201613562301
林廷儒(2014)。
利用CMOS-MEMS技術製作低電壓驅動微機械邏輯閘
〔碩士論文,國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2014.00971
吳洋政(2012)。
CMOS-MEMS壓力器之全差動感測電容電路研究
〔碩士論文,國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0006-1308201214151800
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