選擇性析分子膜改質在表面聲波感測上之應用

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陳奕男(HASH(0x1c437660))

指導教授 ： 果尚志

國立清華大學/理學院/物理學系/碩士(2008年)

摘要

摘要
表面聲波元件於感測上的應用，早已經跨越物理、化學、醫學的界線，由於其具輕巧性、高靈敏度..等優點，近年來更加受到矚目。
本論文，將嘗試於表面聲波元件的感測區做出局部區域改質的製程，我們分別嘗試使用黃光製程及PDMS（聚二甲基矽氧烷）來處理，使聲波元件感測區能達到選區吸附自組裝分子膜OTS（Octadecy- ltrichlorosilane）和APTMS ((3-AminoPropyl)TriMethoxySilane)，利用自組裝分子膜之末端官能基的特性差異，達到選區吸附金顆粒的成果；接著，將此製程實際應用於元件感測上，藉此瞭解表面聲波元件的感測機制，我們於感測區吸附10和20奈米的金粒子，作為感測源並分析感測區的吸附位置與頻率響應之間的關係，驗證瞭解二者之間關連性後，我們更進一步的在同一片表面聲波元件上，實現多區域量測的成果，如此將可使其未來應用的層面更為廣泛。再者，我們將選區改質的技術應用到重金屬的偵測上，首先，我們先在LiNbO3基版上，完成選區改質的製程，達到部分區域吸附10奈米的金粒子，接著將其浸泡至汞離子水溶液和氯化汞溶液中，30分鐘後，將其清潔，再利用X-ray 光電子能譜分析儀證明二者與金粒子的化學變化，接著在量測吸附汞前後的頻率變化及SEM圖形，驗證重金屬汞的偵測可行性。

關鍵字

表面聲波 ； 自組裝分子膜 ； 雷利波 ； 正十八基三氯矽烷

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無資料

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OTS ； APTMS ； Surface Acoustic Wave ； HASH(0x1c43fa80)

參考文獻

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