以離子束蝕刻與微模轉印製程製作高分子波導布拉格光柵濾波器

Using Focused Ion Beam and Micro-mold Transfer Printing Process to Fabricate Polymer Waveguide Bragg Grating Filter

賴宣銘(Xuan-Ming Lai)

指導教授 ： 何智廷

國立虎尾科技大學/工程學院/機械設計工程研究所/碩士(2014年)

https://doi.org/10.6827/NFU.2014.00267

摘要

本研究是結合離子束技術及軟式翻模的新型製程技術，來製作三面光柵之高分子布拉格光柵濾波器。
製程中將以離子束製程將布拉格光柵製作在晶圓上及兩側壁上，並以此晶圓光柵波導元件配合微模轉印技術之微接觸成形技術，製作軟式光柵波導元件模仁，接著利用前述之軟式光柵元件模仁，以軟式印刷技術之複製成形技術，配合OG高分子材料製作出高分子布拉格光柵濾波器。
最後以掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)與光學顯微鏡(Optical Microscope) 等方法觀察與紀錄實驗之結果，並研究探討。

關鍵字

離子束 ； 光柵 ； 微模轉印技術

並列摘要

This study is using Focused Ion Beam technology and soft micro modeling technology to manufacture three side gratings of polymer ridge waveguide to produce polymer Bragg grating filter.
This process first use focused ion beam etching process to produce polymer grating components then the polymer grating waveguide is used by micro-mold transfer technologies .
At last we use a scanning electron microscopy (SEM) and optical microscope (OM) to observe and record test results.

並列關鍵字

Focused ion beam ； grating ； micro-mold transfer technology

參考文獻

[17] 張美如,”積體光學高分子光波導及布拉格反射光波導之研製”,國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所, 2005/7.

[8] 黃建誠, ”感光高分子之積體光學波導之研製”, 國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所,2004/6.

[4] 黃培嘉, ”以簡單複製製程在高分子彎曲波導上製作高解析週期結構之 製程”, 國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所, 2009/06.

[22] 張源炘,”以分子梳結合軟微影技術製備大面積金屬奈米線陣列及奈米通道”,國立成功大學化學工程學系, 2008/6.

[11] Chung-Yen Chao, Cheng-Yen Chen, and Cgee-Wee Liu, ”Direct writing of silicon gratings with highly coherent ultraviolet laser,” Graduate Institute of Electro-Optical Engineering and Department of Electrical Engineering, National Taiwan University, Taipei 116,Taiwan